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工作原理分為幾個方面。 按真空計的測量原理分類

真空計是直接測量單位面積的力，(1)靜態(tài)液位真空計:利用u型管兩端的液面差測量壓力。 (2)彈性元件真空計:真空連接的容器表面受到壓力而彈性變形，由此測量壓力值的大小。

真空計的壓力為10-1Pa時，作用于1cm2表面的力只有10-5N，很難測量這樣的小的力。 但是，可以從與低壓下的氣體壓力相關(guān)的物理量的變化中間接地測量壓力的變化。 對于這種真空計，(1)壓縮式真空計:其原理是除了u型管以外，還測量一定量的測量壓力的氣體，經(jīng)過等溫壓縮使壓力增加，用u型管真空計測量，根據(jù)體積和壓力的關(guān)系計算被測量壓力。 (2)熱傳導(dǎo)真空計:利用低壓下的氣體熱傳導(dǎo)與壓力有關(guān)的原理制作而成。 常用的是電阻真空計和熱偶真空計。 (3)熱輻射真空計:利用低壓下氣體熱輻射與壓力的關(guān)系原理。 (4)電離真空計:利用氣體分子在低壓下與帶電粒子碰撞電離，產(chǎn)生的離子流隨電力變化的原理。 例如熱陰極電離真空計、冷陰極電離真空計、放射性電離真空計等. (5)放電管指示器:利用有關(guān)氣體放電狀況、放電顏色和壓力的性質(zhì)判定真空度，一般只能進行定性測定。 (6)粘性真空計:利用低壓下的氣體與容器壁的運動量交換即外摩擦原理。 振動板式真空計和磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計等。 (7)場致顯微鏡:根據(jù)吸附解吸時間和壓力的關(guān)系計算壓力。 (8)分壓真空計:采用質(zhì)譜技術(shù)對混合氣體進行分壓測定。 常用的有四極質(zhì)譜儀、回旋質(zhì)譜儀、無線電質(zhì)譜儀等。

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